鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢(wu)電極研磨(mo)工藝機(ji)械化焊(han)接電極頭表(biao)面(mian)粗(cu)糙度焊(han)接工藝研磨(mo)機(ji)幾何(he)形狀研磨(mo)砂(sha)輪焊(han)縫質量(liang)。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一(yi)種減少鎢化(hua)學機(ji)械研磨(mo)微(wei)刮痕的工藝,提供一(yi)半導體基(ji)底,其制作鎢插塞的主要(yao)步驟有光阻涂布、微(wei)影,蝕刻(ke)。
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2013年6月22日-鞏義市佛瑞機械廠是專業生產鎢(wu)礦(kuang)選礦(kuang)設備(bei)(bei)的(de)廠家[供(gong)]鎢(wu)礦(kuang)石(shi)的(de)浮選工藝流程(cheng),選鎢(wu)礦(kuang)設備(bei)(bei)價格,[供(gong)]專業生產螺(luo)旋式振動研磨機10/14[供(gong)。
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黝圖1-6銅(tong)化學機械(xie)拋(pao)光(guang)工(gong)藝流程圖1-7雙嵌入(ru)形成鎢插塞和(he)局部(bu)互(hu)連1.3鎢鑲(xiang)嵌圖3—2拋(pao)光(guang)速率,均勻性和(he)研磨(mo)臺轉速的依存性(32藝條件拋(pao)光(guang)頭壓(ya)力(li)-250hap;。
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且(qie)所述(shu)鎢(wu)栓接觸孔(kong)或通(tong)孔(kong)的(de)(de)近圓度有一定提高,并增大(da)了后續光刻(ke)工藝(yi)窗口,增大(da)后續工藝(yi)的(de)(de)穩定度;所述(shu)改善鎢(wu)栓化學(xue)機械(xie)研磨表現的(de)(de)方法不僅提高金(jin)屬(shu)鎢(wu)沉(chen)積填充層(ceng)研磨的(de)(de)。
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一(yi)種改(gai)善(shan)接(jie)觸(chu)孔之鎢化學機械研磨(mo)后(hou)平坦(tan)性的方(fang)法,包括:步驟(zou)S1:在硅基襯底上制(zhi)備前道(dao)器件和絕緣介(jie)(jie)質(zhi)層;步驟(zou)S2:在接(jie)觸(chu)絕緣介(jie)(jie)質(zhi)層上淀(dian)積對鎢金屬具有高研磨(mo)選擇比(bi)的。
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