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硅粉加工工藝設備的發展趨勢_百度文庫
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論(lun)文:摘要(yao):微(wei)電子機(ji)械系統(MEMS)是一項21世紀可以廣泛應(ying)用(yong)的新興技術(shu)。硅微(wei)機(ji)械加工工藝(yi)是近年來(lai)隨(sui)著集成電路工藝(yi)發展起來(lai)的MEMS主流技術(shu)。介紹了MEMS的特點。
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2011年10月14日-免責聲明(ming):機(ji)械專家網對刊登之(zhi)所(suo)有信(xin)息不聲明(ming)或保證其內容之(zhi)正確(que)性或可靠性;您于此接受并承認信(xin)賴任何信(xin)息所(suo)生之(zhi)風險(xian)應自行承擔。機(ji)械專家網有權(quan)但無。
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硅微機械(xie)加工技(ji)術,作(zuo)者:(法)M.埃爾溫斯(si)波克(ke)//(捷(jie))H.揚(yang)森譯者:姜巖(yan)峰,ISBN:9787502592585,化學工業,2008-05-01第1版(ban)2008-05-01第1次印(yin)刷。博(bo)庫(ku)網(wang)全場。
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