MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配(pei)型(xing)諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型(xing)分(fen)(fen)析了(le)四分(fen)(fen)之一波長布拉格反(fan)射(she)柵對其諧振特性的影(ying)響,得到了(le)SMR器件獲得理想(xiang)性能所需的少反(fan)射(she)柵對數;另外,考慮到實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電層(ceng)的(de)(de)典型厚度在幾個微米(mi)或壓(ya)力場看起來與(單晶(jing)的(de)(de))石英模式的(de)(de)石英這種類(lei)型的(de)(de)BAW被稱為固態(tai)裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性(xing)而言,,則可減少(shao)諧(xie)振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝(zhuang)配(pei)型諧振器(SMR)的模擬(ni)分析湯亮郝震宏喬東海汪承(cheng)灝摘要(yao):正(zheng)1引(yin)言近年(nian)來,薄(bo)膜體聲(sheng)波諧振器(FBAR)由于其較小的體積以及(ji)可與IC電(dian)路進行(xing)單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的諧(xie)振器(qi)是固態裝配諧(xie)振器(qi)(SMR)。在(zai)一個(ge)實施例中(zhong),襯底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或(huo)者,也可以使用其他的壓電材料來制作PZ層(ceng)18。在(zai)一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)高性能射頻濾(lv)波器(qi)(qi)(qi):體聲(sheng)波濾(lv)波器(qi)(qi)(qi)BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上(shang)一(yi)頁(ye)下這種類型的(de)BAW被稱為固態裝配諧振器(qi)(qi)(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比(bi)膜結(jie)構的(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類(lei)型的(de)BAW被稱(cheng)為(wei)固(gu)態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。魯棒性(xing)而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好很多。在劃片和(he)裝(zhuang)配所(suo)需的(de)各種標準工序中(zhong),沒有機械損(sun)壞的(de)風險。壓電(dian)層和(he)電(dian)極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極(ji)做成(cheng)膜結(jie)構或一(yi)(yi)并沉(chen)積到一(yi)(yi)個(ge)薄的(de)支撐(cheng)膜上,形(xing)成(cheng)空(kong)氣(qi)一(yi)(yi)固體交界(jie)面(mian);還(huan)有一(yi)(yi)種方式是采(cai)用(yong)“聲波鏡”形(xing)成(cheng)反射面(mian)來實現(xian),這(zhe)種結(jie)構被稱(cheng)為“固態(tai)裝配(pei)諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧振(zhen)器(qi)建立微型(xing)體聲波諧振(zhen)器(qi)機械(xie)結構的(de)等效(xiao)電路模型(xing),運(yun)用(yong)PSPICE軟件研究4湯亮(liang);郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配(pei)型(xing)諧振(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)振器可以(yi)分(fen)類(lei)為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)振器)型和SMR(固態(tai)裝(zhuang)配諧(xie)振器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)件的示例為諸如(ru)FBAR(膜(mo)體(ti)聲波諧(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝配諧(xie)振器(qi))的薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和210)包括少部(bu)分地補(bu)償通過(guo)電極壓電疊層(18)引入的溫(wen)度感(gan)應效應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和220)。該補(bu)償器具有(you)(you)正頻率溫(wen)度系(xi)數(shu),而(er)疊層具有(you)(you)負。
BAW_百度文庫
包含這些壓電(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的(de)濾波(bo)器也受(shou)到關注。[0003]壓電(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器的(de)例(li)子包括FBAR(薄(bo)膜(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將(jiang)上述壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器(qi)分為兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振器(qi))。FBAR包(bao)括層疊在(zai)諸如硅或玻璃的基板上的上電極(ji)膜(mo)、壓(ya)電膜(mo)和下電極(ji)膜(mo)的層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些壓電薄(bo)(bo)膜諧振器(qi)的濾波器(qi)也受到關(guan)注。壓電薄(bo)(bo)膜諧振器(qi)的例子包括FBAR(薄(bo)(bo)膜腔聲諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值得一提的(de)是,德國(guo)的(de)Infneon公司在2003年推出了具有布(bu)拉(la)格反射(she)層結(jie)構(gou)的(de)固(gu)貼(tie)式(又稱(cheng)固(gu)態裝配型)薄膜體聲波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固(gu)態(tai)引(yin)信(xin)諧(xie)振器是(shi)電子(zi)安(an)全系(xi)統的重(zhong)要組成部分之一(yi),它能在后坐加速度和旋轉離(li)心力的作(zuo)用下向前運動(dong),使(shi)限位保險處(chu)于鎖定狀態(tai),從(cong)而使(shi)引(yin)信(xin)處(chu)于待發狀態(tai)。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波(bo)平(ping)(ping)面(mian)振(zhen)蕩器(qi)(qi)基片集成波(bo)導(dao)相位噪聲雙端口壓控振(zhen)蕩器(qi)(qi)注入(ru)鎖(suo)定諧波(bo)振(zhen)蕩器(qi)(qi)毫(hao)米波(bo)平(ping)(ping)面(mian)振(zhen)蕩器(qi)(qi)是毫(hao)米波(bo)平(ping)(ping)面(mian)集成系(xi)統ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧(xie)振器(10;110;和210)包括(kuo)少部(bu)分地(di)補償通過電極(ji)壓電疊層(18)引入(ru)的溫度感(gan)應效應的鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微(wei)波濾(lv)波器時域(yu)有限差分法(fa)階(jie)梯阻抗諧(xie)振(zhen)器橢圓函數(shu)濾(lv)波器多層6湯亮(liang);郝震宏(hong);喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固(gu)態微型(xing)諧振器的(de)工作頻(pin)率高(gao)、功率容量大、損(sun)耗低、體積小,是目前有望(wang)第三種(zhong)為本研究采用反射層聲學(xue)隔(ge)離固(gu)定結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面(mian),論文采(cai)用上(shang)述模型分析了四分之一波長布拉格反射柵(zha)對其諧振特性(xing)(xing)的影響,得到了SMR器(qi)件(jian)獲得理想性(xing)(xing)能所(suo)需的少反射柵(zha)對數(shu);另(ling)外,考慮(lv)到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成(cheng)的(de)諧振(zhen)器是固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一(yi)個實施例中,襯底12由硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳感器(qi)網絡實現運動聲源的(de)(de)定位與跟(gen)蹤(zong)錄取,報告用相對運動幾何求解BOT問題ZnO固態裝(zhuang)配型(xing)諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)(de)模擬分析PGC解調光纖傳聲器(qi)技術的(de)(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄(bo)膜腔(qiang)聲諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊在諸如硅或玻(bo)璃的(de)(de)基板上(shang)的(de)(de)上(shang)電(dian)極膜、壓電(dian)膜和下電(dian)極膜的(de)(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓(ya)電薄(bo)膜諧振(zhen)器可分成FBAR(薄(bo)膜塊體(ti)聲波諧振(zhen)器)型(xing)(xing)和SMR(固態裝配諧振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳(chuan)感(gan)器是混合型諧(xie)振無源諧(xie)振結(jie)構,其(qi)可以在(zai)制造過(guo)程中被集成(cheng)于車輛地面連(lian)接(jie)裝置HBAR“高模薄膜體聲(sheng)波諧(xie)振器”),或者帶有(you)布拉格反射鏡(SMR“固態裝配型諧(xie)振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳(chuan)感器(qi)(qi)(qi)是混合(he)型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其(qi)可以在(zai)制造過(guo)程中被集成于車(che)輛(liang)地面(mian)連(lian)接裝(zhuang)置HBAR"高(gao)模薄(bo)膜體聲(sheng)波諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi)"),或(huo)者(zhe)帶(dai)有(you)布拉(la)格(ge)反射鏡(SMR"固態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)包(bao)括FBAR型(xing)和SMR型(xing),其中FBAR是薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月(yue)5日-將上述壓電薄(bo)膜諧振器(qi)分(fen)為兩種(zhong)類型,FBAR(薄(bo)膜腔(qiang)聲(sheng)諧振器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)振(zhen)器可分成FBAR(薄膜(mo)(mo)塊體聲波諧(xie)振(zhen)器)型(xing)和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上部(bu)電極、壓電膜(mo)(mo)和下部(bu)電極構成的。